Куценко, А.С. and Марченко, И.И. 2012. Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании. Bulletin of National Technical University "KhPI". Series: System Analysis, Control and Information Technologies. 30 (Jun. 2012), 7–10. DOI:https://doi.org/10.20998/%x.