Куценко, А. С., & Марченко, И. И. (2012). Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании. Bulletin of National Technical University "KhPI". Series: System Analysis, Control and Information Technologies, (30), 7–10. https://doi.org/10.20998/%x