Куценко, А. С., & Марченко, И. И. (2012). Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании. Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Серія: Системний аналiз, управління та iнформацiйнi технологiї, (30), 7–10. https://doi.org/10.20998/%x