КУЦЕНКО, А. С.; МАРЧЕНКО, И. И. Компьютерная модель процесса низкотемпературного осаждения металлических пленок из атомно-ионных потоков. Bulletin of National Technical University "KhPI". Series: System Analysis, Control and Information Technologies, [S. l.], n. 3(977), p. 153–158, 2012. DOI: 10.20998/%x. Disponível em: http://samit.khpi.edu.ua/article/view/31327. Acesso em: 25 nov. 2024.