КУЦЕНКО, А. С.; МАРЧЕНКО, И. И. Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании. Bulletin of National Technical University "KhPI". Series: System Analysis, Control and Information Technologies, [S. l.], n. 30, p. 7–10, 2012. DOI: 10.20998/%x. Disponível em: http://samit.khpi.edu.ua/article/view/60327. Acesso em: 22 nov. 2024.