Куценко, А. С., and И. И. Марченко. “Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании”. Bulletin of National Technical University "KhPI". Series: System Analysis, Control and Information Technologies, no. 30 (June 22, 2012): 7–10. Accessed November 22, 2024. http://samit.khpi.edu.ua/article/view/60327.