Куценко АС, Марченко ИИ. Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании. SACIT [Internet]. 2012Jun.22 [cited 2024Nov.22];(30):7-10. Available from: http://samit.khpi.edu.ua/article/view/60327