Куценко АС, Марченко ИИ. Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании. САУІТ [інтернет]. 22, Червень 2012 [цит. за 03, Травень 2024];(30):7-10. доступний у: http://samit.khpi.edu.ua/article/view/60327