Куценко АС, Марченко ИИ. Компьютерная модель процесса низкотемпературного осаждения металлических пленок из атомно-ионных потоков. SACIT [Internet]. 2012Dec.21 [cited 2026May2];(3(977):153-8. Available from: https://samit.khpi.edu.ua/article/view/31327