Компьютерная модель процесса низкотемпературного осаждения металлических пленок из атомно-ионных потоков
DOI:
https://doi.org/10.20998/%25xАнотація
Разработан алгоритм моделирования формирования металлических тонких плёнок при низких температурах. При помощи данного алгоритма были проведены тестовые расчеты осаждения тонкой пленки меди. Полученные результаты моделирования находятся в согласии с имеющимися экспериментальными данными.Посилання
Haile J. M. Molecular Dynamics Simulation: Elementary Methods / J. M. Haile. Chichester : Wiley, 1992. – 489 p.
Allen M. P. The Art of Molecular Dynamics Simulation / M. P. Allen, D. J. D. C. Rapaport. – Cambridge: Cambridge University Press, 1996. – 564 p.
Марченко И. Г. Молекулярная динамика с квантовой статистикой для исследования динамических свойств металлов / И. Г. Марченко, И. И. Марченко // Вестник ХНУ. – 2010. – № 933 : Сер. «Ядра, частицы, поля». Вып. 4 (48). – С. 41 – 48.
Шаскольская М. П. Кристаллография: Учеб. пособие для втузов. – 2-е изд. / М. П. Шаскольская . – М: Высш. Шк., 1984. – 376 с.
Box G. E. P. A note on the generation of normal random deviates / G. E. P. Box , M. E. Muller. – Ann. Math.Stat. – 1958. – Vol. 29. – 610–611 P.
Verlet L. Computer «Experiments» on Classical Fluids. I. Thermodynamical Properties of Lennard-Jones Molecules / L. Verlet // Phys.Rev. – 1967. Vol. 159. P. 98–103.
Daw M. S. Embeded-atom method: derivation and application to impurities, surfeces and other defects in metals / M. S. Daw, M .J. Baskes // Phys. Rev. B. – 1984. – Vol. 29. – P. 6443–6453.
Бусленко, Н. П. Метод статистических испытаний (Монте-Карло) и его реализация на цифровых вычислительных машинах : монография / Н. П. Бусленко, Ю. А. Шрейдер. – М. : Физматгиз, 1961. – 226 с.
Fowler D. E. Structure and dynamics of the Cu (001) surface investigated by medium-energy ion scattering / D. E. Fowler, J. V. Barth // Phys. Rev. – 1995. – Vol. B52. – P. 2117–2124.
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2015 Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Серія: Системний аналiз, управління та iнформацiйнi технологiїАвтори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:
- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).