Компьютерная модель процесса низкотемпературного осаждения металлических пленок из атомно-ионных потоков

Authors

  • А. С. Куценко
  • И. И. Марченко

DOI:

https://doi.org/10.20998/%25x

Abstract

Разработан алгоритм моделирования формирования металлических тонких плёнок при низких температурах. При помощи данного алгоритма были проведены тестовые расчеты осаждения тонкой пленки меди. Полученные результаты моделирования находятся в согласии с имеющимися экспериментальными данными.

Author Biographies

А. С. Куценко

д-р техн. наук, профессор НТУ "ХПИ"

И. И. Марченко

ассистент НТУ "ХПИ"

References

Haile J. M. Molecular Dynamics Simulation: Elementary Methods / J. M. Haile. Chichester : Wiley, 1992. – 489 p.

Allen M. P. The Art of Molecular Dynamics Simulation / M. P. Allen, D. J. D. C. Rapaport. – Cambridge: Cambridge University Press, 1996. – 564 p.

Марченко И. Г. Молекулярная динамика с квантовой статистикой для исследования динамических свойств металлов / И. Г. Марченко, И. И. Марченко // Вестник ХНУ. – 2010. – № 933 : Сер. «Ядра, частицы, поля». Вып. 4 (48). – С. 41 – 48.

Шаскольская М. П. Кристаллография: Учеб. пособие для втузов. – 2-е изд. / М. П. Шаскольская . – М: Высш. Шк., 1984. – 376 с.

Box G. E. P. A note on the generation of normal random deviates / G. E. P. Box , M. E. Muller. – Ann. Math.Stat. – 1958. – Vol. 29. – 610–611 P.

Verlet L. Computer «Experiments» on Classical Fluids. I. Thermodynamical Properties of Lennard-Jones Molecules / L. Verlet // Phys.Rev. – 1967. Vol. 159. P. 98–103.

Daw M. S. Embeded-atom method: derivation and application to impurities, surfeces and other defects in metals / M. S. Daw, M .J. Baskes // Phys. Rev. B. – 1984. – Vol. 29. – P. 6443–6453.

Бусленко, Н. П. Метод статистических испытаний (Монте-Карло) и его реализация на цифровых вычислительных машинах : монография / Н. П. Бусленко, Ю. А. Шрейдер. – М. : Физматгиз, 1961. – 226 с.

Fowler D. E. Structure and dynamics of the Cu (001) surface investigated by medium-energy ion scattering / D. E. Fowler, J. V. Barth // Phys. Rev. – 1995. – Vol. B52. – P. 2117–2124.

Downloads

Published

2012-12-21

How to Cite

Куценко, А. С., & Марченко, И. И. (2012). Компьютерная модель процесса низкотемпературного осаждения металлических пленок из атомно-ионных потоков. Bulletin of National Technical University "KhPI". Series: System Analysis, Control and Information Technologies, (3(977), 153–158. https://doi.org/10.20998/%x

Issue

No. 3(977) (2013)

Section

SYSTEM ANALYSIS AND DECISION-MAKING THEORY

License

Copyright (c) 2015 Вестник Национального технического университета "ХПИ". Серия: Системный анализ, управление и информационные технологии

Authors who publish with this journal agree to the following terms:

  • Authors retain copyright and grant the journal right of first publication with the work simultaneously licensed under a Creative Commons Attribution License that allows others to share the work with an acknowledgement of the work's authorship and initial publication in this journal.
  • Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgement of its initial publication in this journal.
  • Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).