Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании

Автор(и)

  • А. С. Куценко НТУ "ХПИ", Ukraine
  • И. И. Марченко НТУ "ХПИ", Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.20998/%25x

Анотація

Cформулирована математическая модель изменения толщины оксидного слоя при ионном азотировании металлов и сплавов в остаточной атмосфере вакуумной камеры. Получены расчеты характерных времен стравливания оксидных пленок при ионном азотировании.

Біографії авторів

А. С. Куценко, НТУ "ХПИ"

д-р тех. наук, профессор НТУ

И. И. Марченко, НТУ "ХПИ"

ассистент НТУ «ХПИ»

Посилання

Марченко И. И. Влияние условий ионного облучения на эффективность азотирования алюминия / И. И. Марченко // Вестн. нац. техн. ун-та «ХПИ». – 2008. – № 26 : Темат. вып. : «Системный анализ, управление и информационные технологии». – С. 62–67.

Manova D. Oxygen behaviour during during PIII-nitriding of aluminium / D. Manova, S. Mandl, B. Rauschenbach // Nucl. Instr. and Methods in Phys. Res. – 2001. – V. 178. – P. 291–296.

Лифшиц Е. М. Физическая кинетика / Е. М. Лифшиц, Л. П. Питаевский. – М. : Наука, 1979. – 528 с.

Бахвалов Н. С. Численные методы. / Н. С. Бахвалов, Н. П. Жидков, Г. М. Кобельков. – М. : Бином, 2001. – 720 с.

Biersak J. P. Computer Simulations of Sputtering / J. P. Biersak // Nucl. Instr. and Methods in Phys. Res. – 1987. – B27. – P. 21–36.

Surface modification of aluminium by plasma immersion ion implantation / D. Manova, P. Hube, S. Mandl, B. Rauschenbach // Surf. Coat. Technol. – 2000. – V. 128 129. – P. 249–255.

Surface processes and diffusion mechanisms of ion nitriding of stainless steel and aluminium / W. Moller, S. Parascondola, T. Telbisova et. al. // Surf. Coat. Tech. – 2001. – V. 136. – P. 73 79.

Марченко И. И. Математическое моделирование влияния плотности ионного тока на эффективность ионного азотирования Fe, Cr и Fe-Cr-сплавов / И. И. Марченко, А. С. Мазманишвили // Вестн. нац. техн. ун-та «ХПИ». – 2007. – № 41 : Темат. вып. : «Системный анализ, управление и информационные технологии». – С. 9–16.

Опубліковано

2012-06-22

Як цитувати

Куценко, А. С., & Марченко, И. И. (2012). Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании. Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Серія: Системний аналiз, управління та iнформацiйнi технологiї, (30), 7–10. https://doi.org/10.20998/%x

Номер

№ 30 (2012)

Розділ

СИСТЕМНИЙ АНАЛІЗ І ТЕОРІЯ ПРИЙНЯТТЯ РІШЕНЬ

Ліцензія

Авторське право (c) 2016 Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Серія: Системний аналiз, управління та iнформацiйнi технологiї

Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:

  • Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
  • Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
  • Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).