Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании

Authors

  • А. С. Куценко НТУ "ХПИ", Ukraine
  • И. И. Марченко НТУ "ХПИ", Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.20998/%25x

Abstract

Cформулирована математическая модель изменения толщины оксидного слоя при ионном азотировании металлов и сплавов в остаточной атмосфере вакуумной камеры. Получены расчеты характерных времен стравливания оксидных пленок при ионном азотировании.

Author Biographies

А. С. Куценко, НТУ "ХПИ"

д-р тех. наук, профессор НТУ

И. И. Марченко, НТУ "ХПИ"

ассистент НТУ «ХПИ»

References

Марченко И. И. Влияние условий ионного облучения на эффективность азотирования алюминия / И. И. Марченко // Вестн. нац. техн. ун-та «ХПИ». – 2008. – № 26 : Темат. вып. : «Системный анализ, управление и информационные технологии». – С. 62–67.

Manova D. Oxygen behaviour during during PIII-nitriding of aluminium / D. Manova, S. Mandl, B. Rauschenbach // Nucl. Instr. and Methods in Phys. Res. – 2001. – V. 178. – P. 291–296.

Лифшиц Е. М. Физическая кинетика / Е. М. Лифшиц, Л. П. Питаевский. – М. : Наука, 1979. – 528 с.

Бахвалов Н. С. Численные методы. / Н. С. Бахвалов, Н. П. Жидков, Г. М. Кобельков. – М. : Бином, 2001. – 720 с.

Biersak J. P. Computer Simulations of Sputtering / J. P. Biersak // Nucl. Instr. and Methods in Phys. Res. – 1987. – B27. – P. 21–36.

Surface modification of aluminium by plasma immersion ion implantation / D. Manova, P. Hube, S. Mandl, B. Rauschenbach // Surf. Coat. Technol. – 2000. – V. 128 129. – P. 249–255.

Surface processes and diffusion mechanisms of ion nitriding of stainless steel and aluminium / W. Moller, S. Parascondola, T. Telbisova et. al. // Surf. Coat. Tech. – 2001. – V. 136. – P. 73 79.

Марченко И. И. Математическое моделирование влияния плотности ионного тока на эффективность ионного азотирования Fe, Cr и Fe-Cr-сплавов / И. И. Марченко, А. С. Мазманишвили // Вестн. нац. техн. ун-та «ХПИ». – 2007. – № 41 : Темат. вып. : «Системный анализ, управление и информационные технологии». – С. 9–16.

Published

2012-06-22

How to Cite

Куценко, А. С., & Марченко, И. И. (2012). Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании. Bulletin of National Technical University "KhPI". Series: System Analysis, Control and Information Technologies, (30), 7–10. https://doi.org/10.20998/%x

Issue

No. 30 (2012)

Section

SYSTEM ANALYSIS AND DECISION-MAKING THEORY

License

Copyright (c) 2016 Вестник Национального технического университета "ХПИ". Серия: Системный анализ, управление и информационные технологии

Authors who publish with this journal agree to the following terms:

  • Authors retain copyright and grant the journal right of first publication with the work simultaneously licensed under a Creative Commons Attribution License that allows others to share the work with an acknowledgement of the work's authorship and initial publication in this journal.
  • Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgement of its initial publication in this journal.
  • Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).