Компьютерное моделирование формирования поверхности тонких плёнок кинетическим методом Монте-Карло

Автор(и)

  • С. С. Куц
  • А. С. Куценко
  • И. И. Марченко

DOI:

https://doi.org/10.20998/%25x

Анотація

В работе разработана модель осаждения тонких плёнок, основанная на методе кинетического Монте-Карло. Предложенный алгоритм учитывает процессы диффузии по адатомным узлам кристаллической решетки, а также эффект затенения осаждаемых атомов неровностями рельефа поверхности. Проведенные расчеты показывают хорошее согласие с имеющимися экспериментальными результатами.

Біографії авторів

С. С. Куц

студент НТУ "ХПИ"

А. С. Куценко

д-р техн. наук, профессор НТУ "ХПИ"

И. И. Марченко

ассистент НТУ "ХПИ"

Посилання

Mattox D.M., Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing// William Andrew Publishing/Noyes -1998. –P.- 907.

Smith R. W., Srolovitz D. J. Void formation during film growth: A molecular dynamics simulation study// J. Appl. Phys.- 1996.-Vol. 79.- P. 1448-1457.

Srolovitz D. J., Mazor A., Bukiet B. G. Analytical and numerical modeling of columnar evolution in thin films //J. of Vac. Science & Technology.-1988.- Vol. A6.- P. 2371-2380.

Kohler U., Jensen C., Reshort K., et. al. Homo- and heteroepitaxy of metal on metal growth// Structure dynamics in heterogeneous systems.-Singapore: World Scientific, 2001.- P. 140-147.

Биддер К., Сиперли Д., Ансен Ж.-П. и др Методы Монте-Карло в статистической физике/ Пер. с англ.- М.: Мир, 1982.- 400 с.

Бокштейн Б.С., Бокштейн С.С., Жуховицкий А. А. Термодинамика и кинетика диффузии в твердых телах /М.: Металлургия, 1974.- 280 с.

##submission.downloads##

Опубліковано

2009-12-25

Номер

Розділ

СИСТЕМНИЙ АНАЛІЗ І ТЕОРІЯ ПРИЙНЯТТЯ РІШЕНЬ